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4、設備材料業

在設備材料領域，上海市同樣在我國集成電路產業寫下重要篇章。

《2018年上海集成電路產業白皮書》顯示，2017年上海集成電路產業設備材料業也利潤增幅高達95.7%，其中設備業2017年實現銷售收入82.68億元，同比增長111.9%。

白皮書指出，上海設備材料制造業已經走出初創階段的發展路程，成功進入到“產品進入市場，市場引領企業；研發帶動創新，創新推進發展”的雙邊發展新階段。

上海市集成電路行業協會的最新數據，2018年上半年上海市集成電路設備材料業的銷售收入為69.6億元，占產業鏈比重為13.40%。

雖然營收和占比均不及其他三業，但上海市設備材料業在國內的影響力可不小。上海市擁有中微半導體、上海微電子裝備、盛美半導體、上海凱世通等國內知名設備廠商，以及上海新陽、上海新昇、上海安集微電子、上海新傲科技等一眾材料企業。

其中，中微半導體是國內技術最領先的集成電路設備企業之一，主要深耕刻蝕機領域，研制出中國大陸第一臺電介質刻蝕機，目前中微半導體的介質刻蝕設備、硅通孔刻蝕設備、MOCVD設備等均已成功進入海內外重要客戶供應體系，如其介質刻蝕設備已打入臺積電的7nm、10nm量產線，成功打破了國際巨頭的壟斷。

目前中微半導體刻蝕設備零部件國產化率已超過35%，已開發了20多個國內的反應器和系統主機加工等供應廠商，加工能力和質量達到了國際先進水平，截至2017年底，已有620多個中微半導體生產的刻蝕反應臺運行在海內外39條先進生產線上。

再如上海微電子裝備，同樣是國內不可忽視的集成電路設備廠商。上海微電子裝備是國內少數光刻機生產商之一，其生產的光刻機包括晶圓制造、IC封裝、面板、LED等，其中封裝光刻機在國內市場已占據不小的份額，是國內技術最先進的光刻機研制生產單位。

上海微電子裝備“十五”期間承擔了國家863重大科技專項任務掃描投影光刻機的研制任務，“十一五”和“十二五”期間被國家確定為02專項高端掃描投影光刻機研制和先進封裝光刻機產業化的承擔單位，其首臺先進封裝光刻機于2009年實現銷售，上海微電子目前可生產加工90nm工藝制程芯片的光刻機，這是目前國產光刻機最高水平。

目前，上海微電子裝備正在承擔國家科技重大專項02專項在“十三五”期間的標志性項目“28nm節點浸沒式分步重復投影光刻機研發成功并實現產業化”等。

材料領域，上海新昇是國內首個300mm大硅片項目的承擔主體，目前其正片已通過了華力微電子的認證并實現每月2000片的銷售，項目計劃總產能為60萬片每月，預計今年年底將達月產能10萬片。

相信業內人士均有所了解，我國在300mm大硅片領域基本空白、完全依賴進口，上海新昇作為300mm大硅片國產化的排頭兵，該項目的建設及量產出售等均對于國內集成電路材料業具有較大意義。

三、人才建設體系

作為我國較早發展且產業鏈最完整的集成電路城市，上海已建立了較為完整的集成電路人才教育及培訓體系。

上海市擁有復旦大學、上海交通大學、同濟大學、華東師范大學、上海大學等一眾高等院校，其中復旦大學微電子學院是首批國家集成電路人才培養基地之一、國家集成電路人才國際培訓（上海）基地，具有豐富的集成電路人才培養經驗和雄厚的產學聯合基礎；

上海交通大學微電子學院同樣是首批國家集成電路人才培養基地之一，承擔了國家科技重大專項、國防重點、科技863重點項目等多個科研項目，形成了以系統級芯片設計、模擬與射頻芯片設計為主的兩個重點學科方向；

其他多個高等院校也設有集成電路相關專業及研究方向，如同濟大學有電子科學與技術系、超大規模集成電路研究所、微電子中心等院系與部門；華東師范大學有電子工程系，集中研究集成電路設計、新型半導體器件與材料和微電子機械系統（MEMS）；上海大學設有微電子研究與開發中心，專門研究與開發大規模集成電路設計、培養微電子學與固體電子學方向的碩士、博士人才等。

除了高等院校外，上海市還擁有上海集成電路研發中心、上海硅知識產權交易中心、上海集成電路行業協會、上海集成電路技術與產業促進中心、上海集成電路測試專業技術服務平臺等公共服務機構。

這些公共服務平臺在積極推動集成電路產業人才培訓的同時，也與國內外知名院校或企業合作建設人才培訓機構。

如上海集成電路研發中心與國際光刻機巨頭ASML在上海合作共建國內第一個世界級光刻人才培訓基地，今年5月已正式揭牌。上海集成電路行業協會也聯手華虹集團、上海硅知識產權交易中心，共同建設上海集成電路行業協會高技能人才培養基地……

四、政策與基金

上海市集成電路產業的健康發展，離不開政府的政策推動及基金支持。

2000年，上海市政府發布《關于本市鼓勵軟件產業和集成電路產業發展的若干政策規定》，政策通過稅收優惠、補貼獎勵等多種方式鼓勵發展軟件及集成電路。

隨后2012年，上海市政府印發《關于本市進一步鼓勵軟件產業和集成電路產業發展的若干政策》，隨后浦東新區人民政府也發布了《進一步鼓勵產業和集成電路產業發展的若干政策》，進一步擴大產業政策的優惠范圍和獎勵力度。

2017年，上海市政府再次發布《關于本市進一步鼓勵軟件產業和集成電路產業發展的若干政策》，這是在2012年發布的政策基礎上，進一步聚焦支持上海集成電路領域重大項目建設、自主創新技術研發、企業培育和專業人才培養及引進等方面。

上海市政府還編制并發布了《軟件和集成電路專項資金管理》、《上海集成電路工程產品首輪流片專項獎勵實施細則》等相關配套實施細則。

在相關政策接踵出臺的同時，2016年年底上海集成電路產業投資基金成立，基金總規模500億元，分為100億元的裝備材料基金、100億元的設計基金、300億元的制造基金。

2017年7月，繼100億設計業并購基金和300億制造業基金之后 ，總規模100億元的上海集成電路裝備材料基金正式簽約，這標志著上海500億元集成電路產業基金工作已全面啟動。

五、小結

整體上看，相較于江蘇省的封測先行、深圳的設計為優，上海更注重謀求產業結構的完整均衡，就國內各大城市而言，上海集成電路產業鏈最為完備，產業鏈各個環節均有所亮點，且無明顯短板，這樣的均衡發展助力產業鏈各環節間的協同聯動，形成較好的產業生態。

如今全國范圍內掀起集成電路發展熱潮，上海市集成電路產業經過十年輝煌及近年來的穩定發展期后，未來的3~5年或將迎來重大發展機遇和轉型，有望朝著更大規模、更具創新性、更具引領作用等方向突破。

根據《上海促進電子信息制造業發展“十三五”規劃》，上海市的目標是力爭2020年集成電路產業規模達到2000億元，將通過提升產業發展戰略，塑造設計、制造、裝備材料三大支柱，拓展產業發展模式，打造IDM模式的產業第三極等發展手段，推進集成電路產業發展。