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【文/觀察者網 呂棟】

在跟美國政府達成協議1個多月后，當地時間3月8日，荷蘭政府以“國家安全”為由，宣布將對包括“最先進的”深紫外光刻機（DUV）在內的特定半導體制造設備實施新的出口管制。

這意味著，荷蘭方面已將光刻機出口管制的范圍，由極紫外光刻機（EUV）擴大到了DUV。

由于DUV仍占很大出貨比重，荷蘭光刻機巨頭ASML很快發布聲明，稱該公司需要申請許可證，才能出口最先進的浸沒式DUV光刻機，但新的出口管制，并不適用于所有的浸沒式DUV，而只是針對“最先進的”。

ASML官網截圖

根據路透社等外媒的報道，當地時間3月8日晚間，荷蘭外貿與發展合作大臣施賴納馬赫爾（Liesje Schreinemacher）在致荷蘭議員的一封信中稱，“鑒于技術發展和地緣政治背景，政府得出結論，為了（國際）國家安全，有必要擴大對特定半導體制造設備的現有出口管制。”

施賴納馬赫爾宣稱，荷蘭政府希望阻止荷蘭技術被用于軍事系統或大規模殺傷性武器（這與美國去年10月實施出口管制的理由類似），同時希望保持“荷蘭的技術領先地位”，為此將建立國家出口管制清單。

這封信并未提及任何國家和公司，但美國政治新聞網站《政客》（Politico）認為，荷蘭此舉是迫于美國的壓力。就在本月初中荷外長會面時，荷蘭外交大臣胡克斯特拉還表示，荷蘭將繼續根據本國利益在具體項目上獨立作出判斷。

實施新出口管制，顯然會對荷蘭半導體設備企業造成影響，尤其是光刻機巨頭ASML。施賴納馬赫爾在前述信中透露，新的出口管制措施包括最先進的DUV，這些措施將在今年夏天之前實施。

觀察者網查詢ASML財報發現，2022年，EUV光刻機僅占該公司出貨量的10%，DUV仍是出貨主力。

ASML財報截圖

考慮到DUV仍然有龐大的出貨量，ASML也迅速對新的出口管制做出回應。該公司在一份聲明中稱，這些新出口管制主要針對先進的芯片制造技術，包括最先進的沉積和浸沒式光刻工具。

由于這些即將出臺的法規，ASML將需要申請出口許可證才能裝運最先進的浸沒式DUV系統。

ASML在聲明中強調，新出口管制并不適用于所有的浸入式光刻工具，而只適用于所謂“最先進的”，并且這些管控措施轉化為立法并生效還需要時間。

雖然ASML尚未收到任何關于“最先進”確切定義的更多細節，但該公司將其解釋為“關鍵的浸沒式系統”（critical immersion），即“資本市場日”中定義的TWINSCAN NXT:2000i和后續推出的浸沒式系統。

這或許意味著，TWINSCAN NXT:1980Di等更成熟的浸沒式DUV機型不在受限范圍。

ASML主流浸沒式DUV設備 官網截圖

觀察者網查詢方正證券2020年6月發布的研報發現，TWINSCAN NXT:2000i DUV（雙工作臺深紫外光刻機）曾是ASML最先進的浸沒式光刻系統，也是EUV光刻機之前的重要過渡產品，同時是后期7nm/5nm產能的重要補充。這種機型在2018年就已開始出貨，被視為可用于生產7nm等制程。

在復旦大學微電子學院2022年5月發表的一篇論文中，作者提到，在沒有獲得極紫外光刻機（EUV）的情況下，芯片代工廠都是利用浸沒式DUV光刻機，多次曝光實現7nm邏輯芯片的光刻工藝流程。

ASML光刻機型號（資料圖）

ASML官網顯示，TWINSCAN NXT:2000i專為與EUV混合使用而設計，可為高級邏輯和DRAM節點的大批量制造提供出色的覆蓋、聚焦控制和交叉匹配。比這款光刻機更先進的型號是TWINSCAN NXT:2050i，該系統滿足多種圖案化要求，為在高級邏輯和DRAM節點制造300毫米晶圓提供經濟高效的解決方案。

在前述聲明中，這家荷蘭光刻機巨頭提到，主要關注成熟制程的客戶，可以使用不太先進的浸沒式光刻工具，因此最新的出口管制并未影響該公司2023年的財務前景。

但不能自由出貨，ASML在華收入不可避免受干擾。該公司預計2023年中國大陸銷售額將保持在22億歐元左右（約合人民幣162億元），而全球總銷售額將增長25%，因為主要客戶臺積電和英特爾都在擴產。

根據ASML財報，2022年該公司共出貨345臺光刻系統，其中有81臺浸沒式DUV光刻機（ArFi），占比為23%。所有產品中，42%銷往中國臺灣，29%銷往韓國，14%銷往中國大陸，銷往美國的只有7%。

今年2月，在接受歐洲媒體對話時，ASML首席執行官溫彼得直言，如果美國及其盟友切斷中國（大陸）獲得某些半導體和半導體制造技術的渠道，中國將被迫加倍努力開發自主技術。他坦言，雖然出口管制是合法工具，但不應該被濫用，決策者在“擺弄”半導體供應鏈之前應充分了解它的復雜性。

“重要的公司應該知道自己面臨著什么，并有時間適應新規則。”荷蘭外貿與發展合作大臣施賴納馬赫爾在前述致議員的信中稱，荷蘭政府已經決定采取“盡可能謹慎和精確的措施……避免不必要的價值鏈中斷。”

路透社援引所謂國外消息人士稱，日本最快也將于本周發布最新芯片設備出口政策。

針對今年1月美日荷三國達成對華出口限制的協議，中國半導行業協會曾發布聲明稱，此舉如果成為現實，在對中國半導體產業造成巨大傷害的同時，也將對全球產業及經濟造成難以估量的傷害，對全球最終消費者的利益造成長期傷害。中國半導體行業協會反對這一破壞現有全球半導體產業生態的行為。

中國外交部發言人毛寧也曾回應指出，美國為了維護自己霸權和私利，濫用出口管制，脅迫、誘拉一些國家組建遏制中國的小圈子，將經貿科技問題政治化、武器化，嚴重破壞市場規則和國際經貿秩序。中方對此堅決反對，也希望有關方面從自身的長遠利益和國際社會的共同利益出發，審慎行事。

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